3D黄光产线
江苏格微晶智能科技有限公司目前已掌握多领域应用的激光直接成像光刻机，如丝网无掩膜光刻机，3D 曲面玻璃光刻机等先进装备的制造技术，并掌握核心部件的开发技术。公司自主研发 405 纳米激光耦合激光器以及研发的高效光学系统，在实际测试应用上，可达到 50% 的通光率，可以大幅提升了光刻机的产能；公司研发的高速图像处理器，每秒钟可处理25GB 的 data 数据，并且开发出了高精度平台运动系统，目前已投入到光刻机的量产中。
| 曝光机 | |
| 项目 | 参数 |
| 外观尺寸 | 2430mm*1900mm*2015mm（长*宽*高） |
| 质量 | 3300Kg |
| 承重点 | 4 个 |
| 承重点脚杯单点最大承重 | 10KN/ ø120mm |
| 额定电压 | 单相 220V/50HZ 接地良好 |
| 最大功率 | 4KW |
| 额定压缩空气压力 | 0.8Mpa |
| 车载玻璃最大曝光面积 | 610mm*530mm（接受定制） |
| 手机盖板最大曝光面积 | 215MM*900MM（接受定制） |
| 聚焦方式 | 动态仿形聚焦聚焦 |
| 激光输出波长 | 405nm±10nm（或375nm±10nm） |
| 输出激光功率 | 9W (±3%) |
| 激光传输方式 | 光纤 |
| 感光材料 | 光刻胶（光阻油墨） |
| 可接受光刻胶厚度 | （1-10）um |
| 输入文件格式 | Gerber274X |
| 成像单元 | DMD |
| 镜头数目 | 1 |
| 曝光精度 | 30±5μm |
| CCD对位精度（mm） | 0.01 |
| 辅助对位 | CCD（抓边+抓孔）中心对位 |
| 产品多层套位精度（mm） | 0.03 |
| 曝光方式 | 单面曝光 |
| 精度公差 | 油墨边缘锯齿≤20μm，VA区长宽尺寸公差±0.05mm，位置偏差：≤0.05mm； |
| 图像解析分辨率 | 12700dpi |
| 光学输出最小线宽 | 40μ m |
| 重复精度 | ±8μ m |
| 喷涂机 | |
| 功能配置 | 技术参数及说明 |
| 型号 | IN-M31 |
| 外型尺寸 | L=2000mm、W=2350mm、H-2100mm |
| 重量 | 950kg |
| 控制 | 工控机+运动控制卡 |
| 运行软件 | 控制 软件+Windows系统 |
| 编程方式 | 示教编程 |
| 轴数 | X、Y、Z、U |
| 胶阀旋转角度 | 电机正负90度 |
| 显影机 | |
| 项目 | 参数 |
| 外围尺寸 | (长×宽×高)13605×2150×2200毫米 |
| 输送方向 | 自右向左(正对工作面方向) |
| 工件尺寸(长*宽) | 最大: L1500*W300 最小: L850*W250 |
| 工件厚度 | ≤200mm |
| 输送速度 | 0-6m/min |
| 设计生产速度 | 2m-3.0m/min |
| 输送面高度 | 950±25 mm |
| 输送支间距 | 50mm |
| 输送滚轮 | 直径Ø30mm(PP包胶轮片) |
| 传动结构 | 采用45度螺旋斜齿轮作传动，主传动斜齿轮采用PVDF原料生产的斜齿轮传动，被动斜齿轮采用PE原料生产的斜齿轮传动，保证运行的平稳，耐磨，斜齿轮采用浸泡式润滑。 |
| 电源 | 3相5线380VAC,50HZ 85KW（其中加热32KW) |
| 排风量 | 80m3/min |
| 纯水用量 | 8-15L/min |
| 纯水水压要求 | 最少要有1公斤/平方厘米的水压 |
| 机身用料 | 机身前侧为透明10mmPVC板，其余部份为10MMUPVC板，传动桥板厚度为12MM，机架采用304#不锈钢方通焊接，盖板为斜坡形钢化玻璃整体设计为密封结构 |
| 冷却水量要求 | 冷却管用：20升/分钟（冷却水由客户提供） |
| 输送方式 | 滚轮输送，轨道宽1150毫米，（有效宽度为1000mm） |
| 输送结构 | 主传动轴为中16*304#不锈钢轴，输送轴为中12钢枝配穿30的输送滚轮 |
| 补水功能 | 每个水缸均设有手动补水功能，方便清洗及水缸补水 |
| 双层可拆式密封隔离系统 | 设备的生产空间和传动空间隔离，令传动可能产生的粉尘不会污染生产区域，分隔系统采用双层可拆式系统构成，方便清洗及特殊用途，生产区域的生产温度不会影响外机身板，生产区域后侧设有抽气，保证洁净的生产环境 |
| 组合式设计 | 设备为组合式设计，以便日后工艺变化增减功能，地脚距地面高度150mm,便于机身底部清洁。 |
| 内置式倾斜液缸 | 管道为可折式设计，可以进行定期拆换清洗，液缸底部采用微倾斜10度设计及底部排水，保证液体完全排出 |
| 传动齿轮润滑系统 | 采用浸泡式润滑方式 |
| 低液位保护 | 各水缸设有高中低液位控制功能；低液位停机保护功能，以避免液泵因空载而受损；中液位自动补水功能，高液位停止补水功能。 |
| 压力调整 | 每个喷洗机组均有独立球阀及压力表分别调节上/下喷淋之压力及流量 |
| 超温保护 | 装有加热管的液缸内设有温度上限保护装置(上限设定不能超过55度)，当机体内液体温度等于或超过时，加热系统自动停止运行。 |
| 过滤结构 | 所有液体都经过过滤处理，均采用PP过滤器，过滤精度为1UM、5UM和10UM。 |
